1963年，美國出了個潔凈室聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)Fed Std 209。在209標(biāo)準(zhǔn)中，潔凈室按環(huán)境中每立方英尺空間≥0.5μm的粉塵數(shù)量限度分成若干級別，如100級、10,000級、100,000級。中國過去的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)也是按這種方法分級的。

1999年，國際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布了潔凈室國際標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-1《潔凈室與受控潔凈環(huán)境，第 一部分：空氣潔凈度分級》。ISO規(guī)定的潔凈度等級以及傳統(tǒng)分級的具體數(shù)值見下表2。

用公式表示上述指標(biāo)：

Cn = 10N × (0.1/D)2.08用公式表示上述指標(biāo)：

式中：Cn — 每立方米空間允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度;

N — ISO潔凈度分級數(shù);

D — 顆粒物尺度，單位為微米;

0.1 — 常數(shù)，單位為微米。

中國潔凈室標(biāo)準(zhǔn)新的修訂稿中采納了ISO分級。但是，人們已經(jīng)說慣了“百級”、“萬級”、，它順口、易記，今后一段時間內(nèi)，人們可能照舊說下去，直到新一代設(shè)計師們不再記得老的分級和英制計量單位。

說潔凈度應(yīng)該對應(yīng)潔凈室的狀態(tài)：空態(tài)(新建，空屋子)，靜態(tài)(設(shè)備就位，無人員)，動態(tài)(正常工作)。具體工程所說的“潔凈度”是指哪種狀態(tài)，要由用戶與設(shè)計、供貨等方面協(xié)議確定并明文規(guī)定。忘記對狀態(tài)做規(guī)定，大家都會有空子可鉆。

附：GMP規(guī)定的潔凈度